SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明(guǎngmíng)源(yuán)将参展2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体展览会，诚邀行业伙伴莅临14号馆14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在(zài)半导体制造中的创新(xīn)应用，共探制程优化新路径。 172nm MINI实验模组 新品(xīnpǐn)首发 本次展会，广明源将首发推出自主研发的新品——172nm MINI实验模组。该(gāi)产品专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产环节(huánjié)设计，具备(jùbèi)结构精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等特点，适配多种(duōzhǒng)实验环境与制程需求。 172nm 深紫外黑科技(kējì) 可(kě)高效分解晶圆表面有机残留，提升洁净度与附着性能，为封装、清洗等工艺(gōngyì)提供稳定前处理方案。 极简结构，桌面(zhuōmiàn)级准分子实验新体验 由于传统准分子光辐照器因高(gāo)纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级灵活实验(shíyàn)。广明源创新推出紧凑台式准分子光照(guāngzhào)射器——172nm MINI实验模组，机身仅(jǐn)相当于书本大小，采用高集成轻量化设计，打破空间与成本壁垒(bìlěi)，助力高校、企业及研究机构轻松搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料(sùliào)表面改性等多领域研发需求。 封装(fēngzhuāng)工艺表面清洁处理 超净化超微细清洗(qīngxǐ)工艺验证 172nm 系列全线亮相共襄盛会(shènghuì) 除新品发布外，广明源还将展出多款172nm准分子系列光源与模组产品，覆盖晶圆清洗(qīngxǐ)、半导体(bàndǎotǐ)基材表面活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺(gōngyì)环节，为制程优化与设备升级提供更多选择。 172nm准分子系列光源(guāngyuán) 172nm准分子系列(xìliè)模组及设备 SEMI-e 2025 ，诚邀(chéngyāo)莅临 欢迎半导体(bàndǎotǐ)制造企业、设备厂商、工艺研发工程师及(jí)行业伙伴莅临参观交流，现场了解172nm准分子光科技在半导体制造领域的(de)多元应用，共同探讨合作机会。 2025 SEMI-e 中国(zhōngguó)（深圳）国际半导体展览会 时间：2025年6月4-6日(rì) 地点：深圳(shēnzhèn)国际会展中心14号馆 （本文(běnwén)来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为读者提供更多信息资讯，所涉(suǒshè)内容不构成投资、消费建议。对文章事实有疑问，请与有关方(fāng)核实或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）